GAS00-350AC精密XXY對(duì)位平臺(tái)-超高剛性型-氣壓式
GAS00-350SC精密XXY對(duì)位平臺(tái)-超高剛性型-電磁式

★ 超薄型、輕量化平臺(tái)-采用Mini stage Xyθ模組化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無(wú)中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)
★ 透過(guò)特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)
★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用
★ 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,品質(zhì)及效能
★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺(tái)出廠精度與品質(zhì)