XXY精密對位平臺模塊
行程 : ±15x±5、±12x±12、±15x±15 (mm)

機械作動原理-中央/側(cè)邊傳動-標(biāo)準(zhǔn)型、高剛性型-驅(qū)動/從動模塊


★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構(gòu)

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達高剛性、高精度表現(xiàn)

★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

★ 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
 

型號	行程 (mm)	水平負(fù)載能力 (mm)
GAU12-CCD	±15x±5	325
GAU12-CCS	±15x±5	325
GAU12-RCD	±15x±15	402
GAU12-RCS	±12x±12	402
GAU12-RSD	±15x±15	625
GAU12-RSS	±15x±15	625