XYR定位平臺也稱為XXY、UVW定位平臺，屬于3軸并行運動機構(gòu)。 通過三個平移軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)XY雙軸性運動和θz軸旋轉(zhuǎn)運動。 配合TMC-XYR專用運動控制器中嵌入的運動算法和軟件，可以實現(xiàn)單軸直線運動、雙軸性插補、雙軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復雜運動。 XYR定位平臺是高精度視覺定位系統(tǒng)中的機械執(zhí)行部分，主要包括曝光機、粘合劑、掩模印刷機、WAFER定位、部件安裝、PCB鉆頭、LCD亮燈特性檢查、切割機、貼片機( LCD/FPC

XYR定位平臺整體的構(gòu)成:

XYR校準平臺通常由上載物臺、下底面和中間四個模塊組成，根據(jù)模塊分布的結(jié)構(gòu)分為對稱結(jié)構(gòu)和非對稱結(jié)構(gòu)，對稱性結(jié)構(gòu)分為“十字形對稱結(jié)構(gòu)”和“四邊形對稱結(jié)構(gòu)”等。

不對稱結(jié)構(gòu)通常用于超薄型或客戶定制的需求，通常無法設計通孔，因此在特定情況下使用。 另一方面，對稱結(jié)構(gòu)在運動算法方面比較通用，而且校準平臺的中心位置可以設計通孔，在一定程度上可以滿足透射型和反射型的定位需要，因此被廣泛采用。 對稱結(jié)構(gòu)中的四邊形分布剛性和擴展性更強，因此定位平臺更多地使用四邊形對稱結(jié)構(gòu)。

定位平臺模塊:

XYR定位平臺通常由4個運動模塊構(gòu)成，其中3個帶驅(qū)動機構(gòu)，另一個是從動(無驅(qū)動)模塊。

校準工作臺是緊湊的結(jié)構(gòu)，側(cè)驅(qū)動型模塊可以節(jié)省長度方向的空間，因此經(jīng)常使用。

校準工作臺模塊通常由x軸、y軸、θz軸構(gòu)成，這3軸的組合在校準工作臺模塊的情況下，通常分為幾個結(jié)構(gòu)。

定位平臺由模塊構(gòu)建，但在實際構(gòu)建過程中，對機械加工、組裝、檢測、運動控制等方面的要求很高，因此不建議無經(jīng)驗用戶自行安裝。