世界知名的極端環(huán)境納米精度位移器制造商，在穩(wěn)定優(yōu)異的性能、原子級(jí)定位精度、納米位移步長和厘米級(jí)位移范圍內(nèi)受到科學(xué)家的肯定和贊賞。

納米位移臺(tái)在提供極高精度的位移控制的同時(shí)，保證了優(yōu)異的穩(wěn)定性能，適合于室溫、大氣到超高真空環(huán)境，負(fù)載為幾公里，行程為50mm，最小步長為50nm，搭載的光學(xué)位移傳感器將位移精度控制在10nm

本實(shí)用新型公開了一種基于分光激光干涉的六自由度納米位移臺(tái)校準(zhǔn)裝置，屬于激光精密測距技術(shù)領(lǐng)域。 所述裝置包括支撐臺(tái)、分光測定裝置系統(tǒng)和納米位移臺(tái). 該設(shè)計(jì)保證了納米移動(dòng)平臺(tái)6自由度姿態(tài)的測量，解決了任意姿態(tài)納米級(jí)位移測量的難題，適用于x軸、y軸、z軸和旋轉(zhuǎn)角度的納米位移臺(tái)同時(shí)變化的全姿態(tài)識(shí)別和超精密測量校準(zhǔn)。

包括支撐系統(tǒng)( I )、激光系統(tǒng)(2)和測量系統(tǒng)(3)，所述支撐系統(tǒng)( I )包括支撐臺(tái)( 11 )和空氣懸浮臺(tái)( 12 ) 包括納米位移臺(tái)( 33 )、測定鏡( 38 )和三維干涉儀，所述納米位移臺(tái)( 33 )經(jīng)由納米位移調(diào)整板( 32 )固定在所述懸浮平臺(tái)( 12 )上，所述納米位移臺(tái)( 33 )由所述固定托架( 35 )固定.

2 .根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米位移計(jì)6自由度校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述激光系統(tǒng)(2)和所述測量系統(tǒng)(3)之間用光纖連接。