本實(shí)用新型涉及滑臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，特別是精密型電動(dòng)滑臺(tái)，包括電動(dòng)滑臺(tái)，在底座上設(shè)置了驅(qū)動(dòng)單元和頂部安裝板，所述驅(qū)動(dòng)單元控制了頂部安裝板的位移，所述驅(qū)動(dòng)單元包括馬達(dá)、螺桿、螺母和滑塊，所述馬達(dá)的輸出軸與所述螺桿連接，所述螺母與所述螺桿連接，所述螺母與所述滑塊固定連接，所述頂部安裝板的內(nèi)部凹陷形成空腔，容納所述螺桿、跳躍和滑塊，所述滑塊與所述頂部安裝板固定連接，所述馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述螺桿旋轉(zhuǎn)動(dòng)所述螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)所述螺旋，所述螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)器具有較高的傳動(dòng)效果，具有較高的傳動(dòng)功能，具有傳動(dòng)功能，具有傳動(dòng)功能。

與傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)相比，直線(xiàn)電機(jī)具有效率高、加工精度高、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，在精密儀器、醫(yī)療器械、半導(dǎo)體等眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用.但直線(xiàn)電機(jī)作為鉛垂軸的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，在使用過(guò)程中，需要考慮重力平衡裝置的影響.本文設(shè)計(jì)了一種基于直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的三軸精密運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)，研究了其機(jī)械結(jié)構(gòu)和直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制問(wèn)題，研究表明，重力平衡裝置的響應(yīng)速度、定位精度等動(dòng)態(tài)性能是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵.考慮鉛垂向重力平衡的結(jié)構(gòu)，研究了該平衡結(jié)構(gòu)的快速響應(yīng)性和定位精度問(wèn)題.首先，在分析三軸精密運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案的基礎(chǔ)上，提出了直線(xiàn)電機(jī)、反饋元件、直線(xiàn)導(dǎo)軌等的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，并通過(guò)ADAMS軟件進(jìn)行動(dòng)力學(xué)仿真，分析了平衡阻尼對(duì)平衡裝置的影響.